2024年1月14-16日，公司受邀參加了在上海召開的2024中國新材料技術(shù)與半導(dǎo)體應(yīng)用大會暨半導(dǎo)體材料高端論壇。上百名來自政府部門、科研界、產(chǎn)業(yè)界的專業(yè)人士匯聚一堂，共謀中國半導(dǎo)體材料創(chuàng)新發(fā)展之路。

公司副董事長、總工程師方治文教授應(yīng)邀在本次大會的電子工藝化學(xué)品與電子氣體分會場，就“半導(dǎo)體制程用高豐度硼同位素分離富集技術(shù)研究及國產(chǎn)化替代進(jìn)展”進(jìn)行了主題演講，并向在場聽眾介紹了公司在硼同位素及其它含氟高純電子材料方面的研發(fā)工作進(jìn)展及取得的成果。

方治文教授做報告

公司2012年開始與天津大學(xué)合作，啟動硼同位素分離富集技術(shù)研究，十年內(nèi)持續(xù)投入研發(fā)中試經(jīng)費上億元，于2020年全面突破關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，成功生產(chǎn)出硼11豐度>99.9%的三氟化硼11及硼10豐度>99%的三氟化硼10，并已成功量產(chǎn)。目前已批量給國內(nèi)大型面板企業(yè)、芯片企業(yè)、醫(yī)藥企業(yè)等供貨，率先實現(xiàn)了高豐度硼同位素材料在半導(dǎo)體等領(lǐng)域的國產(chǎn)化替代。該項目于2022年4月通過中國石化聯(lián)合會組織的科技成果鑒定，技術(shù)水平達(dá)到國際先進(jìn)，擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)。

深圳大學(xué)微電子研究院院長、半導(dǎo)體制造研究院院長王序進(jìn)院士（中），上海市新材料協(xié)會秘書長何扣寶（左）等參觀展臺

公司在本次大會上獲頒“突出貢獻(xiàn)獎”獎牌與證書