2024年4月15—17日，公司受邀出席在杭州舉辦的2024(第十屆)氟材料高端應(yīng)用及相關(guān)加工技術(shù)研討會。重山光電副董事長、總工程師方治文教授應(yīng)主辦方邀請擔(dān)任論壇主持人，并做了題為《半導(dǎo)體制程用無機含氟氣體材料發(fā)展趨勢》的主題演講。氟化工行業(yè)眾多生產(chǎn)和應(yīng)用企業(yè)、產(chǎn)業(yè)鏈上下游配套企業(yè)、科研院所、投資人和媒體等200余位專家和代表出席了本次會議。
電子特氣作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游關(guān)鍵原材料之一，在半導(dǎo)體芯片制程的硅片制造、外延生長、光刻、刻蝕、成膜、離子注入、清洗等各個環(huán)節(jié)中具有重要用途。作為半導(dǎo)體芯片制程不可或缺的材料，電子特氣被視為半導(dǎo)體芯片制程的“血液”和“糧食”，而含氟電子特氣份額則占到了電子特氣市場一半左右，在半導(dǎo)體制程中起著舉足輕重的作用。方治文教授在演講中針對半導(dǎo)體制程用無機含氟氣體材料研發(fā)應(yīng)用現(xiàn)狀進行了分析，并結(jié)合先進半導(dǎo)體制程對電子特氣提出的挑戰(zhàn)，就無機含氟電子特氣未來的發(fā)展趨勢與參會嘉賓進行了深入探討。
重山光電一直將研發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的先進半導(dǎo)體材料作為公司的戰(zhàn)略重點。公司多年深耕先進電子特氣領(lǐng)域，打破國外技術(shù)壟斷，多項技術(shù)及產(chǎn)品填補了國內(nèi)空白，并進入下游半導(dǎo)體客戶供應(yīng)鏈，初步實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)端的突破。目前公司含氟電子特氣板塊發(fā)展勢頭強勁，數(shù)個含氟電子特種氣體率先實現(xiàn)國產(chǎn)化生產(chǎn)和供應(yīng)替代，為我國先進半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)安全發(fā)展提供了重要支撐。
2023年11月在上海召開的第九屆氟材料高端應(yīng)用及相關(guān)加工技術(shù)研討會上，方治文教授擔(dān)任大會開幕式及主論壇主持人，并在大會做了題為《特種功能氟碳材料制備及應(yīng)用》的報告。方教授在報告中介紹了特種功能氟碳材料的優(yōu)良性能和生產(chǎn)方法，對其主要生產(chǎn)工藝優(yōu)缺點進行了評述，并就特種功能氟碳材料在高級潤滑油、工業(yè)潤滑材料、海洋重防腐及防污涂料以及鋰電池等領(lǐng)域的應(yīng)用研究及進展與參會嘉賓進行了分享。
此外，公司還于2021年、2022年分別參加了第六屆、第七屆氟材料高端應(yīng)用及相關(guān)加工技術(shù)研討會。方治文教授連續(xù)兩年圍繞該主題進行了報告。
2023年3月，方教授作為授課嘉賓參加了在南京召開的“第六期氟化工基礎(chǔ)培訓(xùn)班—含氟電子化學(xué)品專題”培訓(xùn)班，會上方治文教授向與會學(xué)員就《我國含氟電子化學(xué)品發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢分析》進行授課，對包括含氟濕電子化學(xué)品、含氟液晶材料、電子氟化液 、含氟電子特氣等在內(nèi)的主要含氟電子化學(xué)品的生產(chǎn)應(yīng)用、市場競爭格局、發(fā)展趨勢等內(nèi)容進行了全面介紹。
圖：方治文教授與參加培訓(xùn)班的專家、學(xué)員合影
