編者按：由中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會和中國電子氣體生產(chǎn)與利用百人會主辦的第四屆中國電子氣體發(fā)展高峰論壇暨2024中國電子氣體百人會年度論壇在京召開。我公司副董事長、首席科學(xué)家方治文應(yīng)邀出席會議，并做題為“我國含氟電子特氣發(fā)展現(xiàn)狀及挑戰(zhàn)”的大會報告。

中化新網(wǎng)訊3月7日，由中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會和中國電子氣體生產(chǎn)與利用百人會主辦的第四屆中國電子氣體發(fā)展高峰論壇暨2024中國電子氣體百人會年度論壇在京召開。中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會理事長馬銀川指出，目前我國電子氣體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品大都是中低端，不少存在產(chǎn)能過剩甚至嚴(yán)重過剩，高端產(chǎn)品、尖端技術(shù)嚴(yán)重短缺，行業(yè)須瞄準(zhǔn)高端化、差異化領(lǐng)域，提升產(chǎn)品的精細(xì)化、專用化、系列化水平。

圖為圓桌沙龍

“2023年，在多重挑戰(zhàn)疊加的情況下，我國電子氣體行業(yè)呈波浪式發(fā)展。2024年，世界經(jīng)濟增長動力不足，地區(qū)熱點頻發(fā)，外部環(huán)境復(fù)雜，不確定性上升，對行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展將帶來不利影響。”中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會副理事長洑春干表示，行業(yè)要抓住機遇，加大創(chuàng)新力度，培育壯大新興產(chǎn)業(yè)，超前布局建設(shè)未來產(chǎn)業(yè)。要用新技術(shù)改革，改造提升傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)，積極推進產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量、高端化、智能化和綠色發(fā)展。

“近年來，電子氣體技術(shù)更新迭代較快，特別是集成電路領(lǐng)域，制程節(jié)點不斷縮小，晶圓尺寸日漸擴大。在此背景下，市場對電子氣體品種以及產(chǎn)品精度、純度都提出更高要求。”馬銀川指出，電子氣體行業(yè)要重點圍繞“市場有需求、研發(fā)有基礎(chǔ)、突破有可能”的重大關(guān)鍵技術(shù)，集中力量開展協(xié)同攻關(guān)，為行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供強大支撐。

圖為大會現(xiàn)場

北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司總經(jīng)理康勁博士表示，電子氣體是集成電路制造的重要材料之一。在國內(nèi)需求不斷升級、國外封鎖加劇大背景下，我國集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化發(fā)展刻不容緩。我國半導(dǎo)體材料行業(yè)企業(yè)小而散，同質(zhì)化競爭問題日趨嚴(yán)重，因此企業(yè)要強化技術(shù)創(chuàng)新，走差異化發(fā)展道路。同時還要加強高等院校與行業(yè)之間的合作，建設(shè)技術(shù)創(chuàng)新平臺，培養(yǎng)本土人才團隊。此外還要完善產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈，加強對國產(chǎn)原材料的技術(shù)開發(fā)和應(yīng)用。

中國電子氣體百人會會長、中船(邯鄲)派瑞特氣股份有限公司副董事長李紹波認(rèn)為，與國際同行相比，我國電子特氣產(chǎn)業(yè)成長空間較大，整體規(guī)模較小，國際影響力有待提升，要在研發(fā)投入、同質(zhì)化、配套設(shè)施、人才培養(yǎng)等方面補齊短板，全方位提升行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展水平。

此外，中國電子氣體百人會副會長孫福楠、陜西有色天宏瑞科硅材料公司副總經(jīng)理趙渭濱、中船特氣副總經(jīng)理王占衛(wèi)等分別介紹了含氟氣體、硅烷、三氟化氮、氦氣等氣體技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀。來自電子氣體行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)、專家、學(xué)者等200余人參會。

來源：中國化工報