六氟-1, 3-丁二烯是一種無色無味的液化可燃?xì)怏w，在空氣中燃燒極限為7%?73%,它作為刻蝕氣體用于半導(dǎo)體制程的等離子刻蝕，與傳統(tǒng)使用的全氟飽和氟碳類蝕刻氣體CF₄、C2F₆、C₃F₈、C-C₄F₈和NF₃相比，六氟丁二烯具有更高的蝕刻選擇性、精確性和縱橫比。

技術(shù)指標(biāo)：

產(chǎn)品用途：

在電子工業(yè)中用作刻蝕氣體，還可用于生產(chǎn)含氟聚合物'火箭燃料用的鍵合劑、麻醉劑'制冷劑以及抗霜聚合物用的一種交聯(lián)劑等。