六氟乙烷 CAS#: 76-16-4

六氟乙烷(C2F6)，又稱全氟乙烷，是一種無色、無味、不可燃的惰性氣體。六氟乙烷熔點(diǎn)為-100.6℃，沸點(diǎn)為-78.2℃，微溶于水。六氟乙烷作為干腐蝕劑具有邊緣側(cè)向侵蝕現(xiàn)象極微、高蝕刻率及高精確性的優(yōu)點(diǎn)，可以極好地滿足線寬較小的制程要求，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制作過程中。

產(chǎn)品指標(biāo)

 產(chǎn)品用途：

電子級(jí)高純六氟乙烷主要在半導(dǎo)體器件制造過程中，作為蝕刻劑、化學(xué)氣相沉積（CVD）后的腔體清洗劑等使用，同時(shí)也可作為高介電強(qiáng)度制冷劑和電氣設(shè)備的氣體絕緣介質(zhì)使用。        

包裝、貯存：

六氟乙烷充裝在經(jīng)特殊處理的潔凈、干燥的無縫高壓氣瓶中，氣瓶容積分別為4L、8L、10L、12.5L、40L等。具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制更改。