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      半導(dǎo)體制程(支撐)材料

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      高純四氟化硅 CAS#: 7783-61-1

      更新時(shí)間:2020-07-04 點(diǎn)擊數(shù):1998

      高純四氟化硅 CAS#: 7783-61-1

      四氟化硅(SiF4),又稱(chēng)氟化硅,分子式為SiF4,分子量為104.06,是一種無(wú)色、有毒、有刺激性臭味的氣體。四氟化硅易潮解,在潮濕空氣中可產(chǎn)生濃煙霧。四氟化硅溶于乙醇、醚、硝酸、氫氟酸,吸濕性非常強(qiáng),加壓下變成液體,在電子行業(yè)中,四氟化硅有著廣泛的應(yīng)用。

      產(chǎn)品指標(biāo)

      產(chǎn)品用途:

      四氟化硅在電子行業(yè)中主要用作氮化硅、硅化鉭等的P型摻雜劑、蝕刻劑及外延沉積擴(kuò)散硅源等,還可用于制備電子級(jí)硅烷或硅。此外,四氟化硅可用于制備太陽(yáng)能電池、氟硅酸和氟化硅、水泥和人造大理石的硬化劑。    

      包裝、貯存:

      四氟化硅充裝在鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為8 L、44 L、47 L。具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制更改。四氟化硅儲(chǔ)存于陰涼、干燥、通風(fēng)良好的庫(kù)房中,遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃,儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。



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